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高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷的低成本制備和性能研究

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氮化硅陶瓷具有優(yōu)異的力學(xué)性能和高的理論熱導(dǎo)率,是大功率電力電子器件理想的散熱基片材料.但是,高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷對原料要求高,且制備條件苛刻,因此制備成本很高.本研究提出了一種低成本的制備方案.以TiO2-MgO作為燒結(jié)助劑,以高純硅粉作為起始原料