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高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板材料研究現(xiàn)狀

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近年來(lái),半導(dǎo)體器件沿著大功率化、高頻化、集成化的方向迅猛發(fā)展。半導(dǎo)體器件工作產(chǎn)生的熱量是引起半導(dǎo)體器件失效的關(guān)鍵因素,而絕緣基板的導(dǎo)熱性是影響整體半導(dǎo)體器件散熱的關(guān)鍵。 此外,在電動(dòng)汽車、高鐵等領(lǐng)域,半導(dǎo)體器件使用過(guò)程中往往要面臨顛簸、震動(dòng)